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1965年7月經濟部報奉行政院核定「地熱（蒸汽）」為礦，指定大屯山群地區為國家保留區及蒐集資料研訂地熱法草案。經濟部於當年8月令礦業研究服務組照辦，並於9月令礦業研究服務組實施北部地熱研究探勘計畫，該計畫自士林、北投迄金山、萬里一帶，即大屯火山群區進行初步普遍性地質及地熱資料之蒐集研究工作。

根據經濟部於1966年所舉行的地熱發展會議結論，參照外國專家的建議，於大火山群區選擇大磺嘴及雙重溪、馬槽、金山三地區為重點，加強進行地球物理、地球化學、鑽井探勘工作，並於1967年提出「台灣北部大屯火山群區地熱資源加強探勘研究計畫」，共曾鑽鑿測溫探勘井77口，總長度15,674公尺，另鑽大口徑深井4口，總長度5,015公尺。大屯火山群地熱區的大規模探勘調查工作大抵完成於1972年。

1973年發生全球石油危機，經濟部礦業研究所開始向全台數十處之地熱徵兆溫泉區展開普查工作，先選定宜蘭縣羅東森林鐵道終點站土場一帶，實施詳細調查探勘，探勘結果估計土場地熱區潛能至少在10,000千瓦以上，類似土場的地區尚有烏來、清水、谷關、廬山、利稻等5處。

1976年中油公司加入探勘行列，在該清水地區鑽探深井成功，地熱流體產能與品質甚佳。有鑑於此，國科會邀集學者專家組成地熱發電小組，並責成工研院、中油公司及台電公司三機構分別負責探勘、生產及發電，於1977年秋建造第一座1,500 kWe先驅型地熱試驗電廠，供各項試驗研究與示範。

1981年4月國科會於清水完成3 MWe地熱發電廠，同年9月移交台電公司營運，但由於熱液產能因孔內結垢問題造成逐年衰減，以致發電量隨之遞減，運轉12年後於1993年停止發電試驗。

經濟部能源局（前為能源委員會）於1985年委託工研院在土場地熱區開始建構260 kWe雙循環式發電試驗系統，並於1986年完成土場地熱電廠建置。本發電系統充分利用地熱流體之熱能，並進行二氧化碳副產品回收、地熱生產與防垢技術之研究與地熱直接利用研究與示範。土場地熱電廠經數年運轉試驗証實雙循環發電系統之實用性頗佳，且地熱產能在適當調節控制下並無衰減現象，1994年由於該計畫已完成階段性任務而終止。

為加速地熱能源的推廣利用，並促進國內地熱發電技術及相關產業的發展，經濟部能源局於2006年起委託工研院在清水地熱區進行地熱資源開發再生計畫，除陸續完成IC-9、13及19之修井作業，以及IC-20與IC-21兩口地熱井的新井鑽鑿與產能測試外，並利用現有地熱井作為地熱發電技術的研發平台，邀請國內與國際團隊共同參與，建立結垢抑制技術、尾水回注技術、生產井況模擬等技術，進行發電系統評估與測試、儲集層連通試驗等相關研究。

工研院於清水地熱園區建立50 kW增強型雙循環發電示範系統，進行長期發電運轉，以達到園區全自動無人化自動控管與發電，並將產生之電力直接提供至園區使用。除藉由長期示範運轉，以建置及提升發電系統可靠度及耐候性之外，並進一步規劃本示範發電系統成為全臺首座教學與再生能源推廣之園區。

在經濟部能源局支持下，台電公司與財團法人工業技術研究院合作，推動綠島地熱示範發電廠。2015年1月6日台電公司與工研院完成「綠島地熱發電機組試驗性計畫」的合作案簽署意向書，台電評估綠島東南方朝日溫泉一帶的地熱發電潛能約有2,200kW，如地熱潛能全數開發，預計將可供應綠島地區尖峰用電高達百分之五十，因此極具開發效益。第一期預計裝置容量目標為200kW。

2016年工研院於宜蘭清水地熱園區建立200kW ORC發電機組測試平台，2018年底工研院協助結元科技公司完成清水地熱300kW 電廠申設建置工作，並與台電公司完成併網售電合約簽約，是我國首座百kW級商轉地熱電廠。

2017年宜蘭縣政府重新推動清水地熱發電BOT+ROT招商案，因地熱技術逐漸純熟，政府也開始重視綠能，民間公司看見前景，所以共4家廠商投標，經過甄審最後由台汽電/結元科技組成的宜元公司得標，預計第一期將於2021年底完成1MW地熱電廠建置，最終目標是建置4.2MW清水地熱發電廠。

據工研院的估計，大屯山地熱潛能約514MW，占全台蘊藏量的五成以上。能源局在大屯山國家公園外規畫T1到T5地熱區，並將T1中位在新北萬里、金山交界的硫磺子坪列作示範區。2018年經濟部能源局與新北市政府推動「硫磺子坪地熱發電示範區」招商，提出一年鑽井探勘期間免繳土地租金等優惠，最後由將捷集團旗下的結元能源取得開發資格。歷經二年，終於在2020年完成水保等相關程序，正式邁入開鑽階段，本案開發面積12公頃以上，預計地熱裝置容量至少1MW以上。

2020年中油公司為評估宜蘭土場地區地熱開發潛能，開始進行土場地熱探勘井鑽探，陸續將完成5口地熱井之鑽鑿，後續完成發電潛能評估作業後，將朝完成3MWe土場地熱發電廠的目標邁進，預計2022~2023年併網商轉。

清水地熱發電廠於2021.11.23舉行啟用典禮，該電廠為經濟部與宜蘭縣政府合作，由宜元公司負責營運，機組裝置容量約四‧二MW，是全台首個民間營運MW（百萬瓦）等級地熱電廠，平均每日可發六萬度電，估一年有近1.3億元電費收入。